掃描電鏡配備能譜儀,主要能分析材料表面微區(qū)的成分,分析方式有定點定性分析、定點定量分析、元素的線分布、元素的面分布。例如夾雜物的成分分析。兩個相中元素的擴散深度、多相顆粒元素的分布情況。
掃描電鏡在醫(yī)學和生物學中的應用
隨著掃描電鏡分辨力溝不斷提高和樣品制備技術的逐步改善,它在醫(yī)學生物學的研究中發(fā)揮了巨大乍用,具有重要約實用價值。特別是近年來,由于冷凍割斷法、化學消化法以及樹脂鑄型法等新技術的創(chuàng)建,使人們在掃描電鏡下可以直接觀察組織細胞內(nèi)部超微結構的立體圖象,能夠顯示器官內(nèi)微血管和其他管道系統(tǒng)在組織內(nèi)的三維構筑,為醫(yī)學生物學亞顯微領域的深入探討,提供了更為良好的條件。
掃描電子顯徽鏡在地質(zhì)工作中的應用
掃描電子顯微鏡主要通過對微體古生物、巖石、礦物的形態(tài)和結構構造特征的研究,巖石、礦物的元素組成、變化規(guī)律及其賦存狀態(tài)的研究,解決地質(zhì)科研和生產(chǎn)中的各種問題。它直接或間接應用于古生物學(主要是微體古生物)、礦物學、巖石學、隕石學、礦床學、構造地質(zhì)學、礦床綜合評價和礦產(chǎn)綜合利用等方面的研究。
掃描電鏡在材料和冶金行業(yè)中的應用
場發(fā)射掃面電鏡采用場致發(fā)射電子槍代替普通鎢燈絲電子槍,可得到很高的二次電子像分辨率。采用場發(fā)射電子槍需要很高的真空度,在高真空度下由于電子束的散射更小,其分辨率進一步得到提高。同時,采用磁懸浮技術,噪音振動大為降低,燈絲壽命也有增加。場發(fā)射掃描電鏡的特點是二次電子像分辨率很高,如果采用低加速電壓技術,在TV狀態(tài)下背散射電子(BSE)成像良好,對于未噴涂非導電樣品也可得到高倍像。所以,場發(fā)射掃描電鏡對半導體器件、精密陶瓷材料、氧化物材料等的發(fā)展起到很大作用。